據中國科學院重慶綠色智能技術研究院相關項目負責人介紹，光刻機是LCD麵板製造投資份額最大的關鍵設備 設備及其關鍵技術一直受到國外公司製約該行業發展的限製。 為了打破國外光刻設備在LCD麵板行業的壟斷地位，響應電子信息領域對先進技術，節能環保的低成本曝光設備的需求，中國科學院重慶研究所 美國科學部基於UVLED光源，突破LED/LD光學擴展量解決方案和束角變換理論，LED多自由形式精密配光技術，紫外波段自由曲麵無機光學元件批量製造技術進行了新型曝光模塊的研究， 光電係統集成等多項關鍵技術，成功開發了“ 2”用於微電子光刻-12英寸UVLED平行光曝光模塊和“ 5KW，8KW，10KW汞燈替換UVLED光源模組”係列，用於PCB，LCD麵板 與觸摸屏等光刻設備相比，產品強度，均勻性等關鍵指標均優於國外原廠配置，並能滿足生產2
um級生產線，產品技術已達到國際領先水平。 目前，研發團隊已與重慶方正，深南電路等大型企業達成合作協議，與企業合作完成光刻設備的升級改造。 市場上此類光刻設備5萬餘台，產值將超過50億元。

據報道，中國已加入《水am公約》，並禁止在2020年前進出口含汞商品。《低成本光刻工藝和設備的開發與應用》UVLED光源模組的研究與開發UVLED光源模組。
“液晶麵板”項目是大勢所趨。 以高效，節能，環保UVLED陣列作為曝光光源，通過自由曲麵的精確配光和複眼均勻光方案，實現了大麵積高強度均勻曝光，並且現有 光刻機水銀燈光源升級需求。 單以電費計算，每UVLED設備人每年可為公司節省使用成本約8萬元。 如果將目前市場上的5萬隻汞燈雕刻設備全部升級，每年可節省電費40億元。 上述產品已申報15項專利，其中2項已獲授權。

UVLED光源固化技術是綠色產業的一項新技術。 它曾經被北美輻射固化委員會評為具有“ 5E”特性的工業技術； 所謂5E是指Energy saving，節能，UV產品在室溫下快速固化，其能耗一般僅為熱固化的1/10?1/5。
Environmentalfriendly環保的UV固化材料不包含或僅包含少量溶劑，用於UV固化的能量為電能，不產生燃料或氣體，不產生CO2，因此UV固化被稱為“綠色技術”
“; 高效，高效性UV固化可在幾秒鍾內實現完全固化，並具有較高的生產效率； 經濟，經濟，緊湊的紫外線固化設備和流水線生產，加工速度快，從而節省空間，勞動生產率高，紫外線固化工藝確保薄膜層更薄，並具有優異的性能降低了消耗 原材料，有利於降低經濟成本；
UV產品具有廣泛的適應性，可適應各種基材，例如紙張，木材，塑料，金屬，皮革，石材，玻璃，陶瓷以及幾乎所有的軟硬材料

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